德中技术FreeDo F5s 科研用紫外激光微纳加工神器-德中（天津）技术发展股份有限公司

电路板制作成套设备

德中技术FreeDo F5s 科研用紫外激光微纳加工神器

FreeDo F5s采用超高精密移动平台，适合多种苛求微细精密、敏感无损、干净平齐的应用，以皮秒/飞秒“冷加工”为特色，解决陶瓷、石英、硅片、玻璃、蓝宝石、等薄、脆、硬性材料，金属、高分子等热敏感材料和各种粘、皮、韧性材料加工难题。设备光源采取模块化设计，可搭配多种波长、脉宽光源组合，配合高速的直线电机运动结构，适合大多数应用的制作，搭配的CircuitCAM数据处理软件功能强大，可大幅优化加工路径，操作系统内置多种加工模板，真正实现一键加工。

FreeDo F5s配制双光路系统，同时可配置AOD（声光偏转器）模块，还配置了高阶打孔功能，可以实现轮廓圆、同心圆、螺旋线、冲孔等多种打孔模式，实现高效高质量打孔加工。AOD声光偏转替代机械扫描，无运动部件，改变频率即可调整扫描位置，瞬时完成；响应速度快；改变振幅即可调整输出功率，可做标定或实时反馈；MHz级别脉冲精准分配。适合高密度精细图形批量加工，相比振镜提速3-5倍。

此外，设备还有多种配套功能模块可根据需求增加或者进行定制。设备标配自动上下料，可通过接入MES/EAP系统，组成自动化生产线。FreeDo F5s不仅适合教学、科研、军工单位进行科研测试和小批量生产，也适合精密加工厂，专门做高精度、高效率的生产之用。

产品参数

技术参数	FreeDo F5s
激光器种类	LightConversion超快激光器
激光器波长	红外和紫外双波段
激光器脉宽	250fs～10ps可调（采用半高全宽测量方式）
激光器最大功率	20W
扫描振镜分辨率	1μm
超短脉冲控制	标配
振镜自动校准	标配
运动平台行程	≥250mmX250mm
定位精度	≤2μm
重复精度	≤1μm
X/Y轴驱动	直线电机+光栅尺
X/Y轴移动速度	≥500mm/s
X/Y轴移动分辨率	0.5μm
移动速度	≥500mm/s
光路结构	红外和紫外波段双光路
AOD模块	紫外波段配置
最高单脉冲控制频率	≥1.2MHz
设备平台	花岗岩底座
密封光路	标配
可加工材料高度	50mm
切割崩边尺寸	10μm（和材料种类及厚度有关）
打孔效率	400孔/min（和材料种类及厚度有关）
金属层去除效率	≥5cm²/min（和材料种类及厚度有关）
可加工最小线宽间距	≤0.04mm
外形尺寸（WDH）	1450mmx1820mmx1750mm
设备重量	1700kg

工作环境	FreeDo F5s
功率	≥3.5KW
电源	380VAC/50Hz
环境温度	22℃±2℃

设备配套及选项	FreeDo F5s
设备驱动软件	DreamCreaTor 4
数据处理软件	CircuitCAM
在线功率补偿	标配
定深刻蚀	标配
自主专利激光剥铜算法	标配
3D显微测量功能	标配
高阶靶标识别及二次定位头	标配
铝制真空吸附工作台	标配
激光防护玻璃	标配
金属隔音机罩	标配
自动开盖保护	标配
高阶打孔功能	标配
清洁吸尘系统	210mᵌ/hr，220V，1.5kW
自动上下料	可定制
FFU正压清洁装置	选配